Τόπος καταγωγής: | Κίνα |
Μάρκα: | Brother Furnace |
Πιστοποίηση: | CE |
Αριθμό μοντέλου: | BR-PECVD |
Ποσότητα παραγγελίας min: | 1 ομάδα |
---|---|
Τιμή: | Negotiation |
Συσκευασία λεπτομέρειες: | Ισχυρό ξύλινο κιβώτιο για τη σφαιρική ναυτιλία |
Χρόνος παράδοσης: | 7-21 εργάσιμες ημέρες |
Όροι πληρωμής: | L / C, T / T, Western Union |
Δυνατότητα προσφοράς: | 200 σύνολα ανά μήνα |
Ανώτατη θερμοκρασία: | 1200℃ | Κανονικό κενό: | -0.1Mpa |
---|---|---|---|
Ανώτατο κενό: | Η μοριακή αντλία διαμόρφωσης, σκουπίζει 7x10-4 PA (προαιρετικό) με ηλεκτρική σκούπα | Φλάντζα: | σφραγίζοντας φλάντζα ανοξείδωτου 304 |
Προστασία πέρα-θερμοκρασίας: | αυτόματος δύναμη-μακριά όταν υπερβαίνει η θερμοκρασία την επιτρεπόμενη καθορισμένη αξία | Προστασία ασφάλειας: | Αυτόματα δύναμη μακριά όταν διαρρέει το σώμα φούρνων |
Δομή φούρνων: | διπλός διπλός ανεμιστήρας χάλυβα στρώματος, θερμοκρασία επιφάνειας κάτω από 50℃ | ΑΝΩΤΑΤΟ ΠΟΣΟΣΤΟ ΘΕΡΜΑΝΣΗΣ: | 20°C το /min |
Ακρίβεια θερμοκρασίας: | ±1℃ | Ομοιομορφία θερμοκρασίας: | ±5℃ |
Έλεγχος θερμοκρασίας: | 50 τμήματα προγραμματίσημου και αυτόματου ελέγχου | Σωλήνας φούρνων: | Σωλήνας χαλαζία |
Εφαρμογή: | Το πλάσμα ενίσχυσε το φούρνο απόθεσης χημικού ατμού | ||
Υψηλό φως: | περιστρεφόμενος φούρνος σωλήνων,φούρνος σωλήνων χαλαζία |
Τυποποιημένες εφεδρείες:
Προαιρετικές εφεδρείες:
Το πλάσμα ενίσχυσε την τυποποιημένη προδιαγραφή φούρνων απόθεσης χημικού ατμού:
1. Σύστημα θέρμανσης | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 ώρα) | |
Θερμοκρασία εργασίας | ≤1100℃ | |
Μέγεθος αιθουσών | Φ100*1650mm (ο σωλήνας diamater είναι εξατομικεύσιμος) | |
Υλικό αιθουσών | Πίνακας ινών αλουμίνας υψηλής αγνότητας | |
Θερμοηλεκτρικό ζεύγος | Τύπος Κ | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Έλεγχος θερμοκρασίας | ● 50 προγραμματίσημα τμήματα για τον ακριβή έλεγχο του ποσοστού θέρμανσης, ποσοστό ψύξης και κατοικούν χρόνος. ● Χτισμένος στη λειτουργία αυτόματος-τόνου PID με την υπερθερμαίνοντας & σπασμένη σπασμένη θερμοηλεκτρικό ζεύγος προστασία. ● Αυτόματο σύστημα ελέγχου PLC από τον ελεγκτή PC μέσα. ● Το σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας, γλιστρώντας σύστημα (χρόνος και απόσταση) θα μπορούσε να ελεγχθεί από το πρόγραμμα. | |
Μήκος θέρμανσης | 440mm | |
Σταθερό μήκος θέρμανσης | 200mm | |
Στοιχείο θέρμανσης | Καλώδιο αντίστασης | |
Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Ενιαία φάση, 220V, 50Hz | |
Εκτιμημένη δύναμη | 9kW | |
2. Πηγή πλάσματος RF | ||
Συχνότητα RF | 13.56 MHz±0.005% | |
Δύναμη παραγωγής | 500W | |
Ο Max απεικονίζει τη δύναμη | 500W | |
Διεπαφή παραγωγής RF | 50 Ω, ν-τύπος, θηλυκό | |
Σταθερότητα δύναμης | ±0.1% | |
Αρμονικό συστατικό | ≤-50dbc | |
Τάση/συχνότητα ανεφοδιασμού | Ενιαία φάση AC220V 50/60HZ | |
Ολόκληρη αποδοτικότητα | >=70% | |
Παράγοντας δύναμης | >=90% | |
Μέθοδος ψύξης | Αναγκασμένος - αέρας | |
3. Τρία μαζικά flowmeters ακρίβειας σύστημα ελέγχου | ||
Εξωτερική διάσταση | 600x600x650mm | |
Τύπος συνδετήρων | Ένωση Swagelok SS | |
Τυποποιημένη σειρά (Ν2) | 0~100sccm, 0~200sccm, ή εξατομικεύσιμος | |
Ακρίβεια | ±1.5% | |
Γραμμικός | ±0.5~1.5% | |
Επανάληψη | ±0.2% | |
Χρόνος απόκρισης | Ιδιοκτησία αερίου: 1~4 SEC | |
Σειρά πίεσης | 0.1~0.5 MPA | |
Max.pressure | 3MPa | |
Διεπαφή | Φ6,1/4» | |
Επίδειξη | επίδειξη 4 ψηφίων | |
Περιβαλλοντική θερμοκρασία | αέριο υψηλής αγνότητας 5~45 | |
Μετρητής πίεσης | - 0.1~0.15 MPA, 0,01 MPA/μονάδα | |
Βαλβίδα στάσεων | Φ6 | |
Πολωνικός σωλήνας SS | Φ6 | |
Χαμηλό κενό σύστημα συμπεριλαμβανόμενο |
Γιατί το πλάσμα εργαστηρίων του αδελφού ενίσχυσε το φούρνο απόθεσης χημικού ατμού;
Οι πελάτες από περισσότερες από 30 χώρες μας επιλέγουν
Καλύτερη υπηρεσία, γρήγορη απάντηση
Εάν ενδιαφέρεστε για το πλάσμα μας ενισχύσατε το φούρνο απόθεσης χημικού ατμού, μας έρχεστε σε επαφή με για να πάρετε τώρα ένα απόσπασμα!
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: li
Τηλ.:: +8613526693072