Τόπος καταγωγής: | Κίνα |
Μάρκα: | Brother Furnace |
Πιστοποίηση: | CE |
Αριθμό μοντέλου: | BR-PECVD |
Ποσότητα παραγγελίας min: | 1 ομάδα |
---|---|
Τιμή: | negotiable |
Συσκευασία λεπτομέρειες: | Ισχυρό ξύλινο κιβώτιο για τη σφαιρική ναυτιλία |
Χρόνος παράδοσης: | 7-21 εργάσιμες ημέρες |
Όροι πληρωμής: | L / C, T / T, Western Union |
Δυνατότητα προσφοράς: | 200 σύνολα ανά μήνα |
Ανώτατη θερμοκρασία: | 1200℃ | Κανονικό κενό: | -0.1Mpa |
---|---|---|---|
Ανώτατο κενό: | Η μοριακή αντλία διαμόρφωσης, σκουπίζει 7x10-4 PA (προαιρετικό) με ηλεκτρική σκούπα | Φλάντζα: | σφραγίζοντας φλάντζα ανοξείδωτου 304 |
Προστασία πέρα-θερμοκρασίας: | αυτόματος δύναμη-μακριά όταν υπερβαίνει η θερμοκρασία την επιτρεπόμενη καθορισμένη αξία | Προστασία ασφάλειας: | Αυτόματα δύναμη μακριά όταν διαρρέει το σώμα φούρνων |
Δομή φούρνων: | διπλός διπλός ανεμιστήρας χάλυβα στρώματος, θερμοκρασία επιφάνειας κάτω από 50℃ | ΑΝΩΤΑΤΟ ΠΟΣΟΣΤΟ ΘΕΡΜΑΝΣΗΣ: | 20°C το /min |
Ακρίβεια θερμοκρασίας: | ±1℃ | Ομοιομορφία θερμοκρασίας: | ±5℃ |
Έλεγχος θερμοκρασίας: | 50 τμήματα προγραμματίσημου και αυτόματου ελέγχου | Σωλήνας φούρνων: | Σωλήνας χαλαζία |
Εφαρμογή: | Ενισχυμένο πλάσμα LPCVD | ||
Επισημαίνω: | περιστρεφόμενος φούρνος σωλήνων,φούρνος σωλήνων χαλαζία |
Τυποποιημένες εφεδρείες:
Προαιρετικές εφεδρείες:
Τυποποιημένη προδιαγραφή φούρνων σωλήνων εργαστηρίων PECVD διασπασμένη:
1. Σύστημα θέρμανσης | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 ώρα) | |
Θερμοκρασία εργασίας | ≤1100℃ | |
Μέγεθος αιθουσών | Φ100*1650mm (ο σωλήνας diamater είναι εξατομικεύσιμος) | |
Υλικό αιθουσών | Πίνακας ινών αλουμίνας υψηλής αγνότητας | |
Θερμοηλεκτρικό ζεύγος | Τύπος Κ | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Έλεγχος θερμοκρασίας |
● 50 προγραμματίσημα τμήματα για τον ακριβή έλεγχο του ποσοστού θέρμανσης, ποσοστό ψύξης και κατοικούν χρόνος. ● Χτισμένος στη λειτουργία αυτόματος-τόνου PID με την υπερθερμαίνοντας & σπασμένη σπασμένη θερμοηλεκτρικό ζεύγος προστασία. ● Αυτόματο σύστημα ελέγχου PLC από τον ελεγκτή PC μέσα. ● Το σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας, γλιστρώντας σύστημα (χρόνος και απόσταση) θα μπορούσε να ελεγχθεί από το πρόγραμμα. |
|
Μήκος θέρμανσης | 440mm | |
Σταθερό μήκος θέρμανσης | 200mm | |
Στοιχείο θέρμανσης | Καλώδιο αντίστασης | |
Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Ενιαία φάση, 220V, 50Hz | |
Εκτιμημένη δύναμη | 9kW | |
2. Πηγή πλάσματος RF | ||
Συχνότητα RF | 13.56 MHz±0.005% | |
Δύναμη παραγωγής | 500W | |
Ο Max απεικονίζει τη δύναμη | 500W | |
Διεπαφή παραγωγής RF | 50 Ω, ν-τύπος, θηλυκό | |
Σταθερότητα δύναμης | ±0.1% | |
Αρμονικό συστατικό | ≤-50dbc | |
Τάση/συχνότητα ανεφοδιασμού | Ενιαία φάση AC220V 50/60HZ | |
Ολόκληρη αποδοτικότητα | >=70% | |
Παράγοντας δύναμης | >=90% | |
Μέθοδος ψύξης | Αναγκασμένος - αέρας | |
3. Τρία μαζικά flowmeters ακρίβειας σύστημα ελέγχου | ||
Εξωτερική διάσταση | 600x600x650mm | |
Τύπος συνδετήρων | Ένωση Swagelok SS | |
Τυποποιημένη σειρά (Ν2) | 0~100sccm, 0~200sccm, ή εξατομικεύσιμος | |
Ακρίβεια | ±1.5% | |
Γραμμικός | ±0.5~1.5% | |
Επανάληψη | ±0.2% | |
Χρόνος απόκρισης |
Ιδιοκτησία αερίου: 1~4 SEC |
|
Σειρά πίεσης | 0.1~0.5 MPA | |
Max.pressure | 3MPa | |
Διεπαφή | Φ6,1/4» | |
Επίδειξη | επίδειξη 4 ψηφίων | |
Περιβαλλοντική θερμοκρασία | αέριο υψηλής αγνότητας 5~45 | |
Μετρητής πίεσης | - 0.1~0.15 MPA, 0,01 MPA/μονάδα | |
Βαλβίδα στάσεων | Φ6 | |
Πολωνικός σωλήνας SS | Φ6 | |
Χαμηλό κενό σύστημα συμπεριλαμβανόμενο |
Γιατί διασπασμένος φούρνος σωλήνων εργαστηρίων PECVD του αδελφού;
Οι πελάτες από περισσότερες από 30 χώρες μας επιλέγουν
Καλύτερη υπηρεσία, γρήγορη απάντηση
Εάν ενδιαφέρεστε για το πλάσμα 1200℃ μας ενισχύσατε το φούρνο LPCVD με την κενή αντλία, μας έρχεστε σε επαφή με για να πάρετε τώρα ένα απόσπασμα!
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: li
Τηλ.:: +8613526693072