Τόπος καταγωγής: | Κίνα |
Μάρκα: | Brother Furnace |
Πιστοποίηση: | CE |
Αριθμό μοντέλου: | BR-PECVD |
Ποσότητα παραγγελίας min: | 1 ομάδα |
---|---|
Τιμή: | Negotiation |
Συσκευασία λεπτομέρειες: | Ισχυρό ξύλινο κιβώτιο για τη σφαιρική ναυτιλία |
Χρόνος παράδοσης: | 7-21 εργάσιμες ημέρες |
Όροι πληρωμής: | L / C, T / T, Western Union |
Δυνατότητα προσφοράς: | 200 σύνολα ανά μήνα |
Ανώτατη θερμοκρασία: | 1200℃ | Κανονικό κενό: | -0.1Mpa |
---|---|---|---|
Ανώτατο κενό: | Η μοριακή αντλία διαμόρφωσης, σκουπίζει 7x10-4 PA (προαιρετικό) με ηλεκτρική σκούπα | Φλάντζα: | σφραγίζοντας φλάντζα ανοξείδωτου 304 |
Προστασία πέρα-θερμοκρασίας: | αυτόματος δύναμη-μακριά όταν υπερβαίνει η θερμοκρασία την επιτρεπόμενη καθορισμένη αξία | Προστασία ασφάλειας: | Αυτόματα δύναμη μακριά όταν διαρρέει το σώμα φούρνων |
Δομή φούρνων: | διπλός διπλός ανεμιστήρας χάλυβα στρώματος, θερμοκρασία επιφάνειας κάτω από 50℃ | ΑΝΩΤΑΤΟ ΠΟΣΟΣΤΟ ΘΕΡΜΑΝΣΗΣ: | 20°C το /min |
Ακρίβεια θερμοκρασίας: | ±1℃ | Ομοιομορφία θερμοκρασίας: | ±5℃ |
Έλεγχος θερμοκρασίας: | 50 τμήματα προγραμματίσημου και αυτόματου ελέγχου | Σωλήνας φούρνων: | Σωλήνας χαλαζία |
Εφαρμογή: | PECVD | ||
Υψηλό φως: | περιστρεφόμενος φούρνος σωλήνων,φούρνος σωλήνων χαλαζία |
1200C μέγιστος φούρνος σωλήνων εργαστηρίων PECVD με την παράδοση αερίου & την κενή αντλία
Ευφυής εισαγωγή PECVD:
Το σύστημα PECVD σχεδιάζεται για να μειώσει τη θερμοκρασία αντίδρασης παραδοσιακό CVD. Εγκατέστησε τον εξοπλισμό επαγωγής RF μπροστά από παραδοσιακό CVD για να ιονίσει το αντιδρόν αέριο, έτσι το πλάσμα παράγεται. Η υψηλή δραστηριότητα του πλάσματος είναι αντίδραση επιταχύνεται λόγω της υψηλής δραστηριότητας του πλάσματος. Έτσι, αυτό το σύστημα καλείται PECVD.
Αυτό το πρότυπο είναι το νεώτερο προϊόν, σύνθεσε τα πλεονεκτήματα του περισσότερου συστήματος σωλήνων PECVD, και πρόσθεσε τη ζώνη προθέρμανσης στο μέτωπο του συστήματος PECVD. Οι δοκιμές έδειξαν ότι η ταχύτητα απόθεσης είναι γρηγορότερη, η ποιότητα ταινιών είναι καλύτερη, οι τρύπες είναι λιγότερος, και δεν θα ραγίσουν. Το αυτόματο ευφυές σύστημα ελέγχου AISO πλήρως σχεδιάζεται ανεξάρτητα από την επιχείρησή μας, είναι καταλληλότερο να λειτουργήσει και η λειτουργία της είναι ισχυρότερη.
Ευρεία σειρά εφαρμογής: ταινία μετάλλων, κεραμική ταινία, σύνθετη ταινία, συνεχής αύξηση των διάφορων ταινιών. Εύκολος να αυξήσει τη λειτουργία, μπορεί να επεκτείνει τον καθαρισμό πλάσματος χαράζει και άλλες λειτουργίες
Κύριο χαρακτηριστικό γνώρισμα:
Τυποποιημένες εφεδρείες:
Προαιρετικές εφεδρείες:
Τυποποιημένη προδιαγραφή φούρνων σωλήνων 1200℃ PECVD:
1. Σύστημα θέρμανσης | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 ώρα) | |
Θερμοκρασία εργασίας | ≤1100℃ | |
Μέγεθος αιθουσών | Φ100*1650mm (ο σωλήνας diamater είναι εξατομικεύσιμος) | |
Υλικό αιθουσών | Πίνακας ινών αλουμίνας υψηλής αγνότητας | |
Θερμοηλεκτρικό ζεύγος | Τύπος Κ | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Έλεγχος θερμοκρασίας |
● 50 προγραμματίσημα τμήματα για τον ακριβή έλεγχο του ποσοστού θέρμανσης, ποσοστό ψύξης και κατοικούν χρόνος. ● Χτισμένος στη λειτουργία αυτόματος-τόνου PID με την υπερθερμαίνοντας & σπασμένη σπασμένη θερμοηλεκτρικό ζεύγος προστασία. ● Αυτόματο σύστημα ελέγχου PLC από τον ελεγκτή PC μέσα. ● Το σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας, γλιστρώντας σύστημα (χρόνος και απόσταση) θα μπορούσε να ελεγχθεί από το πρόγραμμα. |
|
Μήκος θέρμανσης | 440mm | |
Σταθερό μήκος θέρμανσης | 200mm | |
Στοιχείο θέρμανσης | Καλώδιο αντίστασης | |
Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Ενιαία φάση, 220V, 50Hz | |
Εκτιμημένη δύναμη | 9kW | |
2. Πηγή πλάσματος RF | ||
Συχνότητα RF | 13.56 MHz±0.005% | |
Δύναμη παραγωγής | 500W | |
Ο Max απεικονίζει τη δύναμη | 500W | |
Διεπαφή παραγωγής RF | 50 Ω, ν-τύπος, θηλυκό | |
Σταθερότητα δύναμης | ±0.1% | |
Αρμονικό συστατικό | ≤-50dbc | |
Τάση/συχνότητα ανεφοδιασμού | Ενιαία φάση AC220V 50/60HZ | |
Ολόκληρη αποδοτικότητα | >=70% | |
Παράγοντας δύναμης | >=90% | |
Μέθοδος ψύξης | Αναγκασμένος - αέρας | |
3. Τρία μαζικά flowmeters ακρίβειας σύστημα ελέγχου | ||
Εξωτερική διάσταση | 600x600x650mm | |
Τύπος συνδετήρων | Ένωση Swagelok SS | |
Τυποποιημένη σειρά (Ν2) | 0~100sccm, 0~200sccm, ή εξατομικεύσιμος | |
Ακρίβεια | ±1.5% | |
Γραμμικός | ±0.5~1.5% | |
Επανάληψη | ±0.2% | |
Χρόνος απόκρισης |
Ιδιοκτησία αερίου: 1~4 SEC |
|
Σειρά πίεσης | 0.1~0.5 MPA | |
Max.pressure | 3MPa | |
Διεπαφή | Φ6,1/4» | |
Επίδειξη | επίδειξη 4 ψηφίων | |
Περιβαλλοντική θερμοκρασία | αέριο υψηλής αγνότητας 5~45 | |
Μετρητής πίεσης | - 0.1~0.15 MPA, 0,01 MPA/μονάδα | |
Βαλβίδα στάσεων | Φ6 | |
Πολωνικός σωλήνας SS | Φ6 | |
Χαμηλό κενό σύστημα συμπεριλαμβανόμενο |
Γιατί φούρνος σωλήνων εργαστηρίων PECVD 1200℃ του αδελφού;
Οι πελάτες από περισσότερες από 30 χώρες μας επιλέγουν
Καλύτερη υπηρεσία, γρήγορη απάντηση
Εάν ενδιαφέρεστε για το μέγιστο φούρνο σωλήνων εργαστηρίων PECVD 1200C μας με την παράδοση αερίου & κενό Pumpe, μας ελάτε σε επαφή με για να πάρετε τώρα ένα απόσπασμα!
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: li
Τηλ.:: +8613526693072